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氮化硼膜及其制备方法、包含其的氮化硼复合膜、热界面材料和应用.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112918030 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 20191
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