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基于表面等离激元增强的高速光子集成芯片及制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113363345 B (45)授权公告日 2022.08.19 (21)申请号 202110603985.7 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2021.05
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