基于表面等离激元增强的高速光子集成芯片及制备方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113363345 B
(45)授权公告日 2022.08.19
(21)申请号 202110603985.7 H01L 31/18 (2006.01)
(22)申请日 2021.05
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