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一种四氟化碳热解装置及其控制方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112808174 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110165427.7 (22)申请日 2021.02.06 (71)申请人福建德尔科技有限公司

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