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一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备和去除方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114453346 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210062254.0 (22)申请日 2022.01.19 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 10

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