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一种微纳三维混合结构的制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114464527 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202111679258.5 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 10

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