太阳能电池单晶硅表面织构化的作用.pdf

　第 33 卷第 12 期 硅 酸 盐 学 报 Vol . 33 , No . 12 　2 0 0 5 年 12 月 J OU RN AL OF T H E C H IN ESE CERA MIC SOCIE T Y December , 2005 硅酸钠在太阳能电池单晶硅表面织构化的作用 1 1 ,2 2 2 2 杨志平 , 杨 　勇 , 励旭东 , 许 　颖 , 王文静 ( 1. 河北大学物理科学与技术学院 , 河北 　保定 　07 1002 ; 2 . 北京市太阳能研究所 , 北京 　100083) 摘 　要 : 在单晶硅太阳电池的制备过程中,通常利用晶体硅[ 100 ] 和[ 111 ] 不同晶向在碱溶液中各向异性腐蚀特性 ,在表面形成类似于“金字 塔”的绒面结构 ,使得入射光在硅片表面多次反射 ,提高入射光吸收效率 ,可提高单晶硅太阳电池的转换效率 。实验探索了一种廉价的硅织构 化腐蚀技术 , 即单独采用 Na SiO 代替传统的氢氧化钠和异丙醇溶液 , 以减少价格较高的异丙醇的用量 ,降低成本 。不采用异丙醇或其他机械 2 3 消泡的条件下 ,用质量分数为 5 %的Na2 SiO3 溶液在 80 ℃腐蚀 120 min ,单晶硅片表面可获得最佳反射率为 12 . 56 %的减反射绒面 。虽然与传 统的氢氧化钠和异丙醇溶液效果相比,单独使用 N a SiO 溶液腐蚀单晶硅片表面的反射率和均匀性略差 ,但在传统的氢氧化钠和异丙醇体系 2 3 中加入质量分数为 0 . 1 %的Na2 SiO3 也会促进腐蚀反应的进行 ,获得更加均匀的减反射绒面 。 关键词 : 单晶硅 ; 绒面 ; 硅酸钠 ; 太阳能电池 中图分类号 : T K5 14 　　文献标识码 : A 　　文章编号 : 0454 5648 (2005) 12 1472 05 EFFECT OF SOD IUM SIL ICATE ON TEXTURE OF SINGL E CRYSTALL INE SIL ICON WAFER FOR SOLAR CELL YA N G Z hip i ng 1 , YA N G Yong 1, 2 , L I X u dong 2 , X U Yi ng 2 , WA N G Wenj i ng 2 ( 1. Physics Science and Technology College , Hebei U niver sit y , Bao ding 　07 1002 , Hebei ; 2 . Beij ing Solar Ener gy Research In stit ut e , Beij ing 　100083 , China) Abstract : In t he p ro duction p rocess of single cry st al silicon solar cell s , a p yramid t yp e suede st ruct ure on t he single cry st al sili con wafer i s formed by ani