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晶圆承载座及研磨机.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113370073 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110798095.6 (22)申请日 2021.07.14 (71)申请人北京烁科精微电子装备有限公司

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