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液晶显示器用材料特性简介 李星 第一篇 ITO 导电玻璃简介 ITO 导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上 一层氧化铟锡（俗称 ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用 ITO 导电玻璃，还 会在镀 ITO 层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向 盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用 ITO 玻璃在溅镀 ITO 层之前基片玻璃还 要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用 ITO 玻璃基板一 般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都 会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀 ITO 层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到 的 ITO 层会有不同的特性。一些厂家的玻璃 ITO 层常常表面光洁度要低一些， 更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃 ITO 层会出现高蚀间隔带，ITO 层在蚀 刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃 ITO 层 则会出现微晶沟缝。 ITO 导电层的特性： ITO 膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高， 氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的 ITO 玻璃正是一种具有高透过率的导电 玻璃。 由于 ITO 具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学 反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。 ITO 层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳 的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO 层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶 界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以 ITO 导电玻璃的 ITO 层在 600 度 以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO 导电玻璃的分类： ITO 导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在 150~500 欧姆）、普通玻璃 （电阻在 60~150 欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于 60 欧姆）。高电阻玻璃一般 用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于 TN 类液晶显示器和电子抗 干扰；低电阻玻璃一般用于 STN 液晶显示器和透明线路板。 ITO 导电玻璃按尺寸分，有 14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有 2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm 等规格，厚度在 0.5mm 以下的主要用于 STN 液晶显示器产品。 ITO 导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。 影响 ITO 玻璃性能的主要参数： 长度、宽度、厚度及允差（±0.20 ） 垂直度（≤0.10% ） 翘曲度（厚度 0.7mm 以上≤0.10% ，厚度0.55mm 以下≤0.15% ） 微观波纹度 微观波纹度(表面形貌仪测量) 厚度(mm) 抛光面 镀膜面 1.10 ≤0.05μm/20mm ≤0.10μm/20mm 0.70 ≤0.08μm/20mm ≤0.13μm/20mm 0.55 ≤0.10μm/20mm ≤0.20μm/20mm 0.40 ≤0.15μm/20mm ≤0.25μm/20mm 倒边 C 倒边（0.05mm≤宽度≤0.40mm） R 倒边（0.20mm≤宽度≤1.00mm，曲率半径≤50mm） 倒角（浮法方向 2.0mmX5.0mm ；其余1.5mmx1.5mm ） SIO2 阻挡层厚度（350 埃±50 埃，550nm 透过率≥90%） ITO 层光学、电学、蚀刻性能（蚀刻液： 600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）：见表 1-1。 表 1-1