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一种在物镜下产生z轴多焦点并补偿球差的系统及其实施方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114460738 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202111524357.6 (22)申请日 2021.12.14 (71)申请人中国科学院深圳先进技术研究院地址

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