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基于图案-失效率模拟的管芯良率评估.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396418 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 201980091423.X (74)专利代理机构 广州华进联合专利商标代理
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