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一种光学临近效应修正方法、装置、设备及介质.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113391516 B (45)授权公告日 2022.03.04 (21)申请号 202010175353.0 审查员黄倩 (22)申请日 2020.03.13

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