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一种高频大功率超声波驱动装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218549760 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202222605460.X (22)申请日 2022.09.30 (73)专利权人 北京大学 地址 100871 北
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