微水测量仪.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114563373 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202210195348.5
(22)申请日 2022.03.01
(71)申请人 中国科学院半导体研究所
地址 10
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