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一种MPCVD法批量生产金刚石单晶的方法、钼质基片台.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114561698 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210199210.2 C23C 16/27 (2006.01)
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