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一种清洗装置、清洗设备及晶圆加工装载台.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113385467 B (45)授权公告日 2022.05.03 (21)申请号 202110623874.2 B08B 13/00 (2006.01)

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