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一种近场悬浮与静压吸附相耦合的悬浮抓取系统.pdf

发布：2023-06-09约9.5千字共13页下载文档

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112919140 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202110073903.2 审查员张飞 (22)申请日 2021.01.20

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