3D-X射线用于基板检查独特的平面CT技术生成高精度三维数据.PDF
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外形尺寸 系统规格
型号 BF-X3
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解析度 13 – 30 μm
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检查基板尺寸范围 50 120 - 460 510 mm
独 特 的“ 平 面 C T ”技 术 生 成 高 精 度 三 维 数 据 基板厚度范围 0.8 mm - 4.0 mm
基板平整度 +/-2 mm
m 基板上下净高 基板上方 : 40 mm 基板下方 : 40 mm
m
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