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一种低温等离子体发生装置及用途.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113365406 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110680788.5 (22)申请日 2021.06.18 (71)申请人杭州清稞科技有限公司

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