一种基于微波等离子体反应器合成金刚石的方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113388885 B
(45)授权公告日 2022.04.15
(21)申请号 202110695623.5 C30B 25/20 (2006.01)
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