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一种微小间隙非接触测量调控装置及方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114563981 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210236630.3 (22)申请日 2022.03.10 (71)申请人中国科学院光电技术

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