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一种用于SiC衬底的研磨装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212444717 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202021209632.6 (22)申请日 2020.06.28 (73)专利权人同辉电子科技股份有限公司

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