一种基板背面研磨方法及研磨系统.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114871940 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202111517167.1
(22)申请日 2021.12.13
(71)申请人 华海清科股份有限公司
地址 300
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