延长硫化镉靶材使用寿命的镀膜方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112921282 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110081610.9
(22)申请日 2021.01.21
(71)申请人 宣城开盛新能源科技有限公司
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