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延长硫化镉靶材使用寿命的镀膜方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112921282 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110081610.9 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人 宣城开盛新能源科技有限公司
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