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一种含铌的金属有机化合物的制备方法及应用.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113387980 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110750674.3 (22)申请日 2021.07.02 (71)申请人 合肥安德科铭半导体科技有限
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