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一种含氮化硅波导的硅光单片集成芯片及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883313 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210436342.2 (22)申请日 2022.04.25 (71)申请人 NANO科技（北京）有限公司地址

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