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一种适用于坩埚的面蒸发源结构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388815 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110852132.7 (22)申请日 2021.07.27 (71)申请人 福建华佳彩有限公司 地
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