一种抛光头及抛光机.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114871941 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210443467.8
(22)申请日 2022.04.25
(71)申请人 季华实验室
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