明新科技大学校内专题研究计画成果报告.doc

摘 要 物理氣相沉積是使用高能量粒子撞擊極高純度的固體平面靶材（target）將其原子物理性擊出這些擊出的原子經由真空反應室遷移晶圓上，在晶圓表面渡上一層金屬薄膜，由於晶圓的製作越小也越精細化步驟也是繁雜的，也因製程最佳化有一些許particle就會導致晶圓報廢，由於製作過程相當繁雜相對成本也是相當高的。 因此，本專題實驗之主要目的是利用CAD繪製機械手臂加以修改，在利用CAE模擬，運用靜態結構分析，計算結構受力後的變形與應力應變，最後在利用CAM完成機械手臂，上機測試利用PVD群集機台收集數據，且經由實驗中，我們獲得各參數對成品品質之影響，同時也能經由分析達到最佳之品質控制。 關鍵詞: particle; 靜態結構分析誌 謝 二技兩年的生活，即將劃下句點。在這專題期間，最感謝的莫非是指導教授楊永光老師，不但犧牲個人的時間指引我們，更不厭其煩的灌輸我們為人處世應有的精神與學習態度對我們而言更是一句句寶貴意見，在此由衷的感謝。此外，感謝學校的各位老師提供的幫助及關心；也感謝在專題期間幫助或提供寶貴的意見給我們的各家廠商，由於你們寶貴的意見使我們在專題期間收穫很大並且學了不少的東西，在此致上萬分的謝意。 在這段期間的日子裡，感謝同組的夥伴:美玲不辭辛勞的收集資料及專題排版、分工合作下完成了這次的專題，辛苦了。 目 錄 頁次 摘 要……………….…………………………….……………………………………………I 誌 謝……………….…………………………….……………………………………………II 目 錄……….…………………………..………………………………………………….….III 圖目錄…………..…………………………………………………………….…………V 表目錄………..…………………………………………………………….…………VI 前 言………………………………………………………………………………1 研究目的…………………………………………………………………….…………2 3. 研究方法……………………………….……………………………..………………3 3.1 robot 三維製圖……………………………………………………..………………3 3.2應力分析…………….…………………………………………..………………3 3.2.1 有限元素法…………………………………………………………..………………3 3.2.2 COSMOS press……….……………………………………………………..………3 3.2.3分析種類…………………..………………………………………………..………3 3.3實驗過程所需利用之機具…….…………………………………………..………………3 4.實驗步驟……..……………………………………………………..………………4 4.1實驗設計………………….…………………………………………..………………4 4.2實驗流程………………….…………………………………………..………………4 4.3 COSMOS press分析的流程…….………………………………………..………………5 4.4前處理……………….…….………………………………………..………………5 4.4.1幾何模型之建立………...…………………………………………..………………5 4.4.2 網格種類………………...……..…………………………………………..………5 4.5分析形式………………….………………………………………..………………5 4.6分析數據………………….………………………………………..………………6 4.7後處理……………….…….………………………………………..………………6 5. 結果與討論…………………………………………………………..………………6 5.1實驗結果驗證………………….………………………………………..………………6 5.2 Minitab分析………………….…….……………………………………..………………7 6.結 論……………….…………………………………………..………………8 參考文獻………………………………………………………..……………………9 圖 目 錄 頁次 2007年齒輪型robot particle data………………………………………………….……10 PV