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一种扫描幅面可调的新型激光扫描光学系统.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212460168 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202021562607.6 (22)申请日 2020.07.31 (73)专利权人南京波长光电科技股份有限公司

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紫外飞秒激光大幅面扫描光学系统建立及评价.docx 紫外飞秒激光大幅面扫描光学系统建立及评价一、引言随着科技的不断进步，紫外飞秒激光技术已经成为现代工业、科研及医学领域中不可或缺的重要工具。本文旨在介绍一种紫外飞秒激光大幅面扫描光学系统的建立及评价方法，为相关领域的研究与应用提供理论依据和技术支持。二、紫外飞秒激光大幅面扫描光学系统建立 1.系统设计思路紫外飞秒激光大幅面扫描光学系统主要包括激光器、扫描系统、光学元件及计算机控制系统等部分。设计思路在于通过精确控制激光的发射、扫描及聚焦等过程，实现大幅面、高精度的加工或处理。 2.系统构成 (1)激光器：选用高功率、高稳定性的紫外飞秒激光器，以提供稳定的激光输出。 (2)扫描系统：采用高
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