一种双氧化组分铝蚀刻液、其制备方法与应用.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112795924 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202011573341.X
(22)申请日 2020.12.24
(71)申请人 昆山晶科微电子材料有限公司
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