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一种电容式直线位移传感器及其动尺.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113008120 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 20191

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4。 电容式传感器.ppt 4.1 电容式传感器的工作原理及类型 4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 4.3 电容式传感器的特点及等效电路 4.4 电容式传感器的设计要点 4.5 电容式传感器的转换电路 4.6 电容式传感器的应用举例 电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容量的一种传感器。结构简单、高分辨力、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作，这是它独特优点。随着集成电路技术和计算机技术的发展，促使它扬长避短，成为一种很有发展前途的传感器。 4.1.1工作原理 4.1.2 类型一、变极板间距（d）型三、变介质介电常数型电容传感器 双板式差动电容器为了克服单极式平行
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电容式传感器3—1.ppt 第三章 电容式传感器;;? 以电容器为敏感元件，将被测量（如尺寸、压力等）的变化转换为电容变化量的传感器称为电容式传感器。 ; S ——极板的遮盖面积，单位为m2； ε ——极板间介质的介电系数； δ——两平行极板间的距离，单位为m； ε0 ——真空的介电常数，ε0 =8.854×10-12 F/m； εr ——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，εr ≈1。;;下极板上移：;略去高次项，得：;非线性误差与Δδ/δ0有关。其表达式为： ;差动式变间隙型电容传感器;提高一倍;;显然：电容Cθ 与角位移θ呈线性关系。 ;;线性;;;(a) 厚度传感器;ε1;插入介质
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