第九讲 光电式传感器2_3光栅传感器.pdf

传感器及检测技术 传感器及检测技术 传传感感器器及及检检测测技技术术 第3章 光电式传感器 Part4 第3章 光电式传感器 Part4 第第33章章 光光电电式式传传感感器器 PPaarrtt44 光栅传感器自述 光栅传感器自述 湖北工业大学机械学院 湖北工业大学机械学院 湖湖北北工工业业大大学学机机械械学学院院 湖北工业大学 湖北省现代制造质量工程重点实验室 湖北工业大学 湖北省现代制造质量工程重点实验室 湖湖北北工工业业大大学学 湖湖北北省省现现代代制制造造质质量量工工程程重重点点实实验验室室 我的样子 我是由很多等节距的透光缝隙和不透光的刻 线均匀相间排列构成的光电器件。 玻璃等透 金属等非 明材质 透射式 反射式 透明材质 湖北工业大学 湖北省现代制造质量工程重点实验室 2 湖北工业大学 湖北省现代制造质量工程重点实验室 湖湖北北工工业业大大学学 湖湖北北省省现现代代制制造造质质量量工工程程重重点点实实验验室室 我的家族 物理光栅 计量光栅 物理光栅 计量光栅 光的衍射现象 莫尔效应 湖北工业大学 湖北省现代制造质量工程重点实验室 3 湖北工业大学 湖北省现代制造质量工程重点实验室 湖湖北北工工业业大大学学 湖湖北北省省现现代代制制造造质质量量工工程程重重点点实实验验室室 如何制作我 间隔相等的透明与不透明线纹 透明玻璃 涂敷感光层 刻蚀 线纹之间的间距称为栅距。 25条/㎜、50条/㎜、100条/㎜、250条/㎜。 湖北工业大学 湖北省现代制造质量工程重点实验室 4 湖北工业大学 湖北省现代制造质量工程重点实验室 湖湖北北工工业业大大学学 湖湖北北省省现现代代制制造造质质量量工工程程重重点点实实验验室室 神奇的我们 运动