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通过工程化原子层沉积对碳纳米管的可调掺杂.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840448 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201980061021.5 (74)专利代理机构 北京坤瑞律师事务所 11494
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