应用于真空腔内夹持机构的定位组件及定位方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114561625 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202210353168.5
(22)申请日 2022.04.06
(71)申请人 盛吉盛半导体科技(
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