一种氮化-净化去除冶金硅中硼杂质的方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112794332 B
(45)授权公告日 2022.05.24
(21)申请号 202110038313.6 C01B 21/068 (2006.01)
(22)申请日 2021.0
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