文档详情

一种氮化-净化去除冶金硅中硼杂质的方法.pdf

发布:2023-06-03约1.1万字共8页下载文档
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112794332 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 202110038313.6 C01B 21/068 (2006.01) (22)申请日 2021.0
显示全部
相似文档