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一种有机硅苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112795018 B (45)授权公告日 2022.04.01 (21)申请号 202110059114.3 C23F 11/173 (2006.01) (22)申请日
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