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基于铌酸锂波导光路的集成光学芯片以及集成光学组件.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112833872 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202010168246.5 (22)申请日 2020.03.11 (71)申请人天津领芯科技发展有限公司

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