文档详情

一种晶圆片清洁用甩干装置及其使用方法.pdf

发布:2023-05-15约1.11万字共13页下载文档
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883224 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210578531.3 (22)申请日 2022.05.26 (71)申请人 智程半导体设备科技(昆山)有限公
显示全部
相似文档