一种晶圆片清洁用甩干装置及其使用方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883224 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210578531.3
(22)申请日 2022.05.26
(71)申请人 智程半导体设备科技(昆山)有限公
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