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SooPAT一种制备有源驱动TFT矩阵中金属.PDF

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SooPAT 一种制备有源驱动TFT矩阵中金属 连线的方法 申请号:200610066420.5 申请日:2006-03-30 申请(专利权)人京东方科技集团股份有限公司 地址 100016北京市朝阳区酒仙桥路10号 发明(设计)人王章涛 邱海军 陈旭 闵泰烨 林承武 主分类号 H01L21/768(2006.01)I 分类号 H01L21/768(2006.01)I 公开(公告)号101047145 公开(公告)日2007-10-03 专利代理机构 代理人 注:本页蓝色字体部分可点击查询相关专利
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