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梳齿型元件的制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113015691 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 201980074534.X (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

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