晶片温度测量方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113405683 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110550056.4
(22)申请日 2021.05.20
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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