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柔性呼吸传感器及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113397483 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202110555218.3 C23C 14/34 (2006.01)

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