文档详情

一种Halbach永磁体结构的磁控溅射靶枪.pdf

发布：2023-06-05约1.21万字共11页下载文档

文本预览下载声明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112831762 B (45)授权公告日 2022.04.22 (21)申请号 202011313333.1 审查员周珑 (22)申请日 2020.11.20

显示全部

相似文档

NdFeB永磁体表面磁控溅射铝防护镀层性能研究-表面技术.PDF 第43卷摇第1期摇摇摇表面技术摇摇 2014年02月 SURFACE TECHNOLOGY ·77 · 試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試 NdFeB永磁体表面磁控溅射铝防护镀层性能研究
2017-08-02 约1.84万字 5页立即下载
一种抑制表面大涡流的电机转子永磁体结构.pdf (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号CN220527839U (45)授权公告日2024.02.23 (21)申请号202322126596.7 (22)申请日2023.08.09 (73)专利权人精效悬浮（苏州）科技有限公司地
2024-02-19 约4.17千字 7页立即下载
一种基于海尔贝克永磁体结构的真空灭弧室.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883142 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210461577.7 (22)申请日 2022.04.28 (71)申请人西安交通大学地址 710049
2023-05-14 约9.78千字 13页立即下载
磁控溅射阴极结构与工艺-GENCOA.pdf 关于溅射阴极与工艺的分析报告 (For Surfacility成都研修班) Gencoa 工艺工程师黄汉乐 (Hugo Huang) hugo@ 2016-10-22 GENCOA
2019-02-24 约2.5万字 96页立即下载
一种磁控溅射镀膜方法及装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113005414 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110201011.6 (22)申请日 2021.02.23 (71)申请人湖南匡楚科技有限公司
2023-06-08 约7千字 9页立即下载
一种超高场强的磁控溅射阴极.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210237758 U (45)授权公告日 2020.04.03 (21)申请号 20192
2023-08-23 约4.84千字 7页立即下载
一种旋转镜像靶磁控溅射设备.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113403595 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110606855.9 (22)申请日 2021.06.01 (71)申请人无锡爱尔华光电科技有限公司
2023-06-17 约5.84千字 6页立即下载
一种磁控溅射环热处理工装.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213388818 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022239700.X (22)申请日 2020.10.10 (73)专利权人有研亿金新材料有限公司
2023-03-09 约8.76千字 9页立即下载
一种玻璃磁控溅射镀膜系统.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114457315 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202111628913.4 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人凯盛信息显示材料（
2023-05-07 约1.15万字 12页立即下载
磁控溅射原理.ppt 让不可能成为可能MakingtheIMPOSSIBLEpossible关于磁控溅射原理*第1页，共22页，星期日，2025年，2月5日*磁控溅射原理直流辉光放电右图为直流辉光放电的发光区电位分布及净空间电荷沿极间距的分布图。靠近阴极有一明亮的发光区，称为阴极辉光区。电子在阴极暗区发生大量的电离碰撞，正离子被加速射向阴极。但是正离子的迁移率远低于电子的迁移率，净空间电荷呈正值，在阴极表面附近形成一个正离子壳层。阴极暗区是气体辉光放电的最基本组成部分。在负辉光区，电子碰撞气体原子产生强烈的发光。法拉第暗区和正柱区几乎是等电位区，不一定是辉光放电所必需。第2页，共22页，星期日，2025年，2月5日
2025-03-22 约2.73千字 22页立即下载
《磁控溅射镀膜》.doc 磁控溅射 /wiki/%E7%A3%81%E6%8E%A7%E6%BA%85%E5%B0%84 磁控溅射是为了在低气压下进行告诉溅射，必须有效地提高气体的离化率。通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率的方法。 磁控溅射-工作原理 ? ? ? ? 磁控溅射的工作原理如图，电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar+和新的电子；新电子飞向基片，Ar+在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E（电场）×B
2016-03-03 约2.12万字 20页立即下载
《磁控溅射讲义》.pdf 材料研盟是为方便材料及相关领域的科研人员进行科研讨论而由志同道合网友设立的非营利性群组。该研盟设置几大群组，涉及材料研讨的各个方面。群简介（主群：材料研盟；分群： N 个）群名称号码研讨内容* 材料研盟（内部群）为材料群组讨论提供技术及组织协助材料研盟 A 材料物理，材料化学，材料学，（大材料）材料研盟B （测材料测试技术, 包括试）显微
2016-02-29 约8.57千字 19页立即下载
一种靶阴极磁钢布置结构及采用该结构的磁控溅射装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218596493 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222804686.2 (22)申请日 2022.10.24 (73)专利权人柳州长虹数控机床有限责任公司地址
2023-03-08 约6.78千字 7页立即下载
从永磁体谈起(新).ppt 描述磁场磁场中某一点的方向在物理学中规定：在磁场中的任意一点，小磁针静止时N极所指的方向就是那一点的磁场方向． * ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 热忱欢迎各位领导老师莅临指导！司南战国时期，出现了用天然磁石琢制的“司南”，它的样子象一只勺，底圆，可以在平滑的底盘上自由旋转，当它静止时，勺柄指的就是南方。西东北南磁悬浮列车第一节从永磁体谈起第十四章电磁铁与自动控制探究一: 桌
2018-05-12 约小于1千字 18页立即下载
从永磁体谈起金.ppt 从永磁体谈起司南司南罗盘一、磁体 1、能吸引铁、钴、镍等物质的性质，我们称之为：磁性。 2、具有磁性的物体，我们称之为磁体。 3、磁体的分类：人造磁体和天然磁体。暂时性磁体和永磁体 条形磁铁、蹄型磁体、小磁针实验把铁屑均匀地铺在白纸上，将磁体依次平放在铁屑上，然后将磁体提出，观察现象。磁体两端的磁性最强，中间磁性最弱。实验把铁屑均匀地铺在白纸上，将磁体依次平放在铁屑上，然后将磁体提出，观察现象。磁体两端的磁性最强，中间磁性最弱。 3、磁极：磁体上磁性最强的部位。北极：N
2017-06-08 约1.85千字 28页立即下载