文档详情

基板处理装置以及基板处理方法.pdf

发布：2023-06-04约1.78万字共21页下载文档

文本预览下载声明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838025 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011224945.3 (22)申请日 2020.11.05 (30)优先权数据 10-2019-0

显示全部

相似文档

基板处理装置以及基板处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN110010533A (43)申请公布日 2019.07.12 (21)申请号20191
2024-04-02 约8.98万字 90页立即下载
基板处理装置以及基板处理方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902380 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080089352.2 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限
2023-05-16 约2.96万字 29页立即下载
基板处理装置以及基板处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840439 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201980067612.3 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限
2023-06-06 约2.96万字 26页立即下载
基板处理装置以及基板处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840438 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201980065740.4 (74)专利代理机构成都超凡明远知识产权代理
2023-06-03 约3.88万字 34页立即下载
基板处理方法以及基板处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112997279 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 201980073208.7 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限
2023-06-10 约2.43万字 21页立即下载
基板处理装置以及基板处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112997275 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 201980072710.6 (74)专利代理机构成都超凡明远知识产权代理
2023-06-10 约3.7万字 32页立即下载
基板处理装置、以及基板处理方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823413 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202111588425.5 (22)申请日 2021.12.23 (30)优先权数据 2021-013938 202
2023-05-14 约3.37万字 36页立即下载
基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN110137107A (43)申请公布日 2019.08.16 (21)申请号20191
2024-03-30 约8.82万字 90页立即下载
基板处理方法、部件处理方法以及基板处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114792626 A (43)申请公布日 2022.07.26 (21)申请号 202210055438.4 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2022.01.
2023-05-12 约3.25万字 38页立即下载
基板处理装置、基板处理方法以及存储介质.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN109390252A (43)申请公布日 2019.02.26 (21)申请号20181
2024-02-03 约1.96万字 20页立即下载
基板搬送装置以及基板处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823443 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210018112.4 (22)申请日 2022.01.07 (30)优先权数据
2023-05-15 约2.16万字 23页立即下载
载置台构造、基板处理装置以及基板处理装置的控制方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823462 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210014544.8 (22)申请日 2022.01.07 (30)优先权数据 2021-008954 202
2023-05-16 约2.12万字 18页立即下载
静电卡盘的制造方法、静电卡盘以及基板处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113345828 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110202917.X (22)申请日 2021.02.23 (30)优先权数据
2023-06-16 约1.84万字 18页立即下载
基板温度控制装置、基板处理装置以及控制方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410117 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110509672.5 (22)申请日 2017.04.28 (30)优先权数据
2023-06-18 约1.75万字 18页立即下载
基板处理装置和基板处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113348534 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202080009765.5 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事
2023-06-19 约3.19万字 37页立即下载