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MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究.docx

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MEMS高温温度传感器的研制与测量精度争论

邵靖;张丛春;汪红;丁桂甫;段力;王强;郑芳芳;谢开成;王云生;陶闻钟;高均超;胡铭楷

【摘要】Anembeddedhightemperaturesensorforintelligentaero-enginesandotherintelligentmechanicalsys-temshavebeenfabricatedandcharacterizedundervarioushightemperaturemeasurements.Thishightemperaturesensorwasbuil

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