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类镜面物体的缺陷检测装置及其检测方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112798617 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110117450.9 G01N 21/41 (2006.01) (22)申请日 2

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