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薄膜压电致动器.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114583041 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202011372354.0 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人 TDK株式会社 地址 日本东京都
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