S4800扫描电镜(SEM)操作手册课件.ppt

努力奋斗 努力奋斗 努力奋斗 努力奋斗 努力奋斗 努力奋斗 Hitachi S-4800 型扫描电镜简易操作指南 国家纳米科学中心纳米检测实验室 * 注意！ 本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内容，不能代替培训。有意自己操作扫描电镜的用户请到现场参加培训。 为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度，文件内容难于面面俱到。 欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见！ * S－4800 扫描电镜外观 * S－4800 扫描电镜剖面图 * S-4800主要技术参数 二次电子成像分辨率 1.0nm@15KV 放大倍数 20?～800000? 加速电压 0.1～30kV 样品台 三轴马达台 样品最大尺寸 ?100mm * 扫描电镜使用时的安全注意事项 扫描电镜及其附属设备中有高压电、低温、高温、高压气流等危险因素，因此不正确的使用有可能造成人身伤亡。请您正确操作仪器，不要打开仪器的面板或试图接触培训过程中未允许您操作的部分，即使您对自己的操作很有信心。未获得授权的用户请勿操作电镜。 请勿用扫描电镜观察磁性样品，磁性样品有可能给电镜造成严重伤害。 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况，请垂询技术员彭开武/郭延军 （ Tel:）。 * S－4800扫描电镜的基本操作过程 启动操作程序PC－SEM 观察样品 加载样品 加高压及条件设定 调节电子光学系统 记录图像 SEM数据管理器 图像处理 取出样品 刻录光盘 结束操作 * 1、启动操作程序PC－SEM 打开显示器Display的开关； 系统启动，要求输入系统的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－SEM自动启动，要求输入程序的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。 * 2、加载样品 1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托（15mm,1inch,1.5inch,2inch）； （2）用碳导电胶带或银导电胶将样品粘在样品托上。 注意： (a)对于不导电或导电性不好的样品，需要进行喷金等的导电处理； (b)当在较高倍率下观察时（大于等于10万倍），建议使用银导电胶，可以防止样品漂移；用了导电胶的样品需要用台灯烤干或用吹风机吹干后再插入样品室。 * 2、加载样品 2）将样品托装在样品架（specimen holder）上 （1）把样品托安装在样品架的顶端； （2）调整样品的高度，使得样品的上表面与样品高度计的下面尽量相平。 注意： (a)取放样品操作时必须带手套以减少污染； (b)必须使用样品高度计调节样品的高度，使WD与Z尽量保持一致，这样不仅操作性好，而且有利于保护仪器和样品。 (c)注意调节螺杆（adjusting screw）不要从样品架底座下面伸出来，这样会造成机械故障。 * 2、加载样品 3）将样品架插入样品室 插入样品之前需要确认： (a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不亮） (b)加速电压处于OFF状态 （1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气； （2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打开； （3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮处于UNLOCK状态； （4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品插入交换棒中； * 2、加载样品 （5）按逆时针方向旋转交换棒的旋钮到LOCK状态，然后将交换棒完全拉出； （6）关闭交换室，按EVAC键，交换室抽真空； （7）峰鸣器响后，按OPEN键，打开样品室与交换室之间的门（气阀）； （8）峰鸣器响后，一边探视里面，一边将样品架充分地插入样品台的槽中（交换棒推到底）； （9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置，卸下样品，然后将交换棒完全拉出； （10）按CLOSE键，气阀关闭。 * 3、加高压及条件设定 1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点击SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和发射电流。发射电流一般设为10?A 3）加高压 点击ON键，出现确认样品尺寸对话框，确定后，开始自动加电压 * 3、加高压及条件设定 4）条件设定 （1）选择图形信号及探测器类型：SE,BSE （2）设定工作距离WD （3）设定高度Z Z与WD密切相关，它们设定的先后顺序并不重要，最终目的是在Z与WD的允许范围内使图像聚焦清楚。为安全起见，本机高度Z应在3mm以上（范围3－30）。 * 4、调节电子光学系统 加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴或对中(Alignment)。 （1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴