一种新型光栅长度计.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112797904 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202110135183.8
(22)申请日 2021.02.01
(71)申请人 廊坊市莱格光电仪器有限公司
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