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一种新型光栅长度计.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112797904 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110135183.8 (22)申请日 2021.02.01 (71)申请人 廊坊市莱格光电仪器有限公司
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