金属有机化学气相沉积反应器技术及进展.pdf
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OI :10.16085/j.issn.1000 -6613.2002.06.012
·4 10 · CH E M IC AL I N U ST R Y AN EN G IN EE R IN G PR O GR E SS 2002 21 6
1,2 1 1 2 1
许效红 王 民 侯 云 周爱秋 王 弘
(1 ;2 , , 250100)
简要介绍了金属有机化学气相沉积反应器技术的发展, 描述了几种典型反应器的结构 过程特点, 讨
论了反应器的设计、 优化及发展趋势。
金属有机化学沉积, 反应器, 薄膜材料
TQ 028.2 A 1000-6613 (2002)06-0410-04
(metal organic , ,
chemical vapor deposition, MOCV ), , 。
, 1.1 (horizontal tube reactor)
、 , 。
[1]
。 Mansevit ,
2060 , 、 ,
、、 ,
[5,6]
。 : 。
(1);(2) [7]
, ,
、;(3) 1;
[3]
;(4)。 ,
。
[2,3]
。 , ,
MOCV 。 。,
20 , ,
, [6, 8, 9]。
[3, 4]
, ,
。
MOCV
;
, 、
。
、、
。Ⅲ～ Ⅴ,
。
MOCV :,
,
;,
, ,
。, 1
MOCV 。
2002-02-27。
1 反应器的概况及发展 “863” (863-715-002-
0110)。
MOCV 、 (1965—), , , ,
、 、、 。 。0531-8564204。
6 : · 41 1 ·
1.3 (vertical rotating disk
reactor, R R)
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